전기/전자MEMS
실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 직접회로,
머리카락 절반 두께의 초소형 기어, 손톱 크기의 하드디스크 등 초미세 기계구조물을 만드는 기술
사실상 핸드폰, 자동차, PC등 모든 제품에 필요한 기술
MEMS
MEMS는 초소형 정밀기계 기술이다.
21세기형 유망 산업으로 주목되며 자동차 에어백 가속도 센서, 실용화 의료기기, 정보기기 분야 개발을 활발하게 할 것이다.
MEMS는 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로 혼용되고 있으나,
번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다.
현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상 소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착되었다.
한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려는 것이다.
즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메커니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다.
크기는 수 mm에서 수 nm에 이르며, 수 cm 크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.
마이크로 머신에 대한 개념이 처음 나올 때에는 혈관 내를 돌아다니면서 환부를 치료할 수 있는 기계를 구상하기도 했으나, 이것은 옛 이야기다. MEMS란 마이크로 머신이 느끼고 생각하며 운동하는 시스템을 일컫는다.
출처 : 초소형 정밀기계 기술 [Micro-Electro Mechanical Systems] (손에 잡히는 IT 시사용어, 2008.02.01)