조도, 윤곽 형상, 하이브리드도 추 후 추가 가능

검출기 교환만 하면 조도,윤곽,하이브리드 모두 평가 가능 합니다.

저진동에 의한 Linear 구동부

ACCRETECH은 세계최초로 구동부에 고 정도 Linear 모터를 탑재(특허) 하고

동시에 근본적인 구조상의 고정밀도화의 한계를 극복하였습니다.

비접촉 리니어 모터 구동의 유효성

리니어 모터는 왕복운동에 적합하며, 정확한 위치 결정과 고속측정이 가능합니다.

리니어 드라이브의 경우, 기본적으로 리니어모터 + 스케일뿐인 간단 제어이기 때문에

높은 응답성과 높은 정밀도 위치 선정이 가능 합니다.

Positioning

X축 구동부에 부착되어 있는 수동 이송 기구는, 리니어 모터에 의한 초 저진동 특성에 영향이 없도록

실제 측정시에는 수동 기어 기구부와 리니어 측정 기구부의 연결을 자동으로 분리하는 구조 입니다.

정밀도 보증 온도 범위를 20±5℃로 확대

NEX 시리즈의 구동부는 스케일 온도 보정 기술을 탑재하여 시스템의 정도 보증 범위를

20±2℃에서 20±5℃로 확대 하였습니다.