● Roughness와 ISO Parameter

최신 ISO 16610 고급 필터링 기술을 사용하여 표면 거칠기와 Waviness 구성 요소를 분리

다음의 ISO Parameter 액세스 :

- 3D Parameter는 ISO 25178로 정의

높이 (Sa, Sq, Ssk, Sku, Sz 등), 기능 (Smr, Smc, Sxp)

- ISO 4287과 새로운 ISO21290와 Roughness Parameter (Ra, Rq, Rsk, Rmr, Rdc, Rdq, RPc, 등)

- 2D/3D Parameter 계산 및 표시

ASME B46.1 (USA)

GB/T (China)

DIN (Germany)

JIS (Japan)

NF (France)

BSI (UK)

UNE (Spain)

UNI (Italy) 등

기능 분석 수행 :

Abbott-Firestone 베이렁 비율 곡선 및 깊이 분포 히스토그램.

한 표면에서 다른 표면을 빼는 기능으로 마모 측정

표면을 수직으로 최대 3개로 슬라이스하여 Material/Void 체적 비율 및 두께 계산

● Data 보정

분석 전 표면을 Normalize 하고 허상/노이즈를 제거

보정 도구 :

- Leveling

- 수평 또는 수직으로 뒤집기. 1도 단위로 회전 가능

- 영역 추출

- 비정상적인 스캔 라인을 보정하거나 제거

- 스파이크 제거를 위한 임계값 설정

- 고립된 허상 리터치

- 측정 데이터에 대한 Tip의 영향을 최소화하기 위한 Deconvolution

- 누락된 Data 채우기

- 이미지 해상도 증가를 위한 리샘플링

● 표면 기하학

측정 툴을 사용하여 표면 형상을 빠르고 정확하게 분석

- 거리

- 각도

- Peak와 Valley 영역

- 범프와 홀의 양

- 표면과 Profile의 단계 높이

- Coplanarity

● 표면 스티칭

수평면에서 겹치는 여러 측정 이미지를 자동으로 스티칭

서로 다른 높이에 있는 두 개 이상의 표면 측정물을 양방향으로 패치하여

수직 범위를 늘려 분석 가능한 하나의 표면으로 합성

● 하위 표면 분석

1. 직사각형 또는 직사각형이 아닌 영역 추출

2. 임계값을 지정하여 표면에서 슬라이스 제거

3. 표면을 Motifs(Texture Cells)로 자동 분할한 다음 분할 및 레벨 연산자를 사용하여 하위 표면을 추출하고 레벨 지정

하위 표면 또는 관심영역이 추출되면 전체 표면과 정확히 동일한 방식으로 분석 가능

Parameter는 하위 표면에서만 계산 됨.

예를 들면 이를 통해 MEMS와 기계 및 전자 부품의 평면 거칠기, 평탄도 및 Coplanarity 분석 가능

● Shell(자유 형상 표면) 분석

Shell 시각화 및 분석 :

- STL, OBJ, PLY 및 3MF 파일을 포함한 자유 형상 표면(Shell) 시각화 및 분석

- 여러 스캔 축을 사용하는 프로파일러에서 생성된 Data 분석

- 모든 각도에서 Data를 확인해야 하는 응용 분야(적층 가공, X-ray 단층 촬영 등)

- Shell의 영역을 추출하여 별도 분석

- Shell에서 표면 및 Parametric Profile 추출

Shell에 대한 Metrological 분석 :

- 표면 곡률 및 편차를 3D 색상으로 시각화

- Reference 양식에 맞추기 (평면도, 원통, 구)

- 매끄러운 Reference 표면을 계산하기 위해 가우시안과 같은 필터 적용

- 자유 형상 표면 Texture Parameter 계산 : 높이 Parameter, 하이브리드/공간 Parameter, 부피 Parameter

측정 된 Shell을 CAD 모델과 비교

- 모델을 자동 또는 수동으로 사전 정렬

- 피팅 미세 조정

- 사용자 정의 색상 팔레트를 사용하여 편차를 계산하고 표시

- 추가 분석을 (표면 Texture 분석 등) 수행하기 위해 결과 Shell 및 편차 생성

● 향상된 윤곽 분석

- 표면에서 수직 (x,z) 또는 수평 (x,y) 윤곽선 (Profile)을 추출

- 기하학적 요소를 윤곽과 연결하는 간단한 상호적 도구를 사용하여 Nominal 형식을 정의

- 자동 치수 측정 및 상호적 도구를 사용하여 치수(거리, 반경, 직경 및 각도 포함)를 계산

- 측정 된 윤곽을 CAD DATA (DXF) 또는 사용자 정의 Nominal 형식과 비교 측정

- 필요한 경우 큰 위치 공차를 포함한 공차 지정

- 확대 된 그래픽으로 형상 편차를 쉽게 시각화

- 합격/불합격 상태를 포함한 결과 테이블을 자동으로 생성

- 베어링의 고딕 아치 분석

● 입자 분석

입자 분석

- 다양한 검출 방법을 사용하여 Grain, 입자, Island, 범프, 홀, Motifs (Texture Cells)를 자동으로 검출하고 개수를 계산

- 여러 기준을 사용하여 입자를 그룹으로 정렬

- 실시간으로 클래스를 그래픽으로 시각화하고 관리도, 히스토그램, 산점도 등을 생성

Fourier & wavelets 분석

- 주파수 분석 - 상호적인 주파수 스펙트럼, 상호적인 Power 스펙트럼 밀도, Autocorrelation/Intercorrelation

- 등방성, 방향성 및 주기성 계산 - 방위도의 주요 표면 방향을 보고 Parameter 계산

- FFT 플롯 편집기를 사용하여 표면 노이즈 제거

- 이산 Wavelet 필터링 (3D표면 및 2D Profile)

여러 스케일 레벨에서 표면 또는 Profile 시각화

거칠기 및 파상도 스케일레벨 선택

- 연속 Wavelet 분해 - 현상이 발생하는 규모 수준 및 공간 위치 연구

4D 분석

- 시간, 온도, 자기장 또는 다른 차원에 대한 4D 분석을 위해 일련의 표면 또는 변환된 이미지 결합

- 표면, Profile 및 점 진화를 진화를 시각화하고 표면이 변화함에 따라 표면위를 가상 비행하고

프레젠테이션용 동영상 녹화 가능

- 표면 Texture Parameter 변화에 대한 통계 생성

- Karhunen-Loève 변환(주성분 분석)을 사용하여 노이즈를 필터링하고 운동 방식이 다른 영역을 강조 표시

두께 분석

- 표면 또는 Profile 쌍을 정렬하여 "두께 쌍" 생성

- 상위층과 하위층 사이의 쌍방향 두께 분석

- Global 두께 Parameter 생성 :

평균 두께, 최소/최대, 표준 편차, 왜도, 첨도 등

섬유 분석

- 개별 섬유가 분리되어 있거나, 접촉되어 있거나, 겹쳐져 있는지 여부를 정량화

- 전용 검출 방법을 사용하여 섬유 및 간극을 자동으로 검출

- 섬유 직경의 히스토그램 표시

- 섬유 직경 (평균, 최소, 최대, 표준편차) 및 평균 섬유 방향 계산

● 상관 분석

- 3D 표면 지형 DATA와 다양한 장비(SEM, AFM 등)의 이미지를 동일 위치화하여 표면 특징 강조

- 3D 지형(높이 단위의 Z축) 또는 의사 3D 이미지(Intensity 단위의 Z축)에 이미지 오버레이

- 다양한 렌더링 옵션에 액세스하고 오버레이 투명도 수준을 설정

* 위 이미지는 SEM 이미지와 광학 현미경 이미지를 동일 위치화한 이미지.